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日本日立200kV球差校正透射電鏡HF5000概述
日立發(fā)布的200kV球差校正透射電鏡HF5000，具有高穩(wěn)定冷場發(fā)射電子槍，自動球差校正器，可一鍵操作實現(xiàn)自動球差校正，HAADF-STEM分辨率可以達到0.78埃;可配置EDS雙探頭，固體角大可達2.0sr;具備TEM、STEM，SEM和電子衍射等多種圖像觀測模式;鏡筒和樣品臺經(jīng)過了重新設(shè)計，顯著提升了儀器的性能和穩(wěn)定性……HF5000將是材料學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體制造、石油煤炭等研究領(lǐng)域的可靠助手。
日本日立200kV球差校正透射電鏡HF5000特點
★ 高度自動化球差校正，盡量減少人員介入，適用于繁忙的分析測試中心或設(shè)備平臺;
★ 三位一體呈現(xiàn)(TEM、STEM、SEM)，內(nèi)部結(jié)構(gòu)成像和表面結(jié)構(gòu)成像可同時進行同時獲取;
★ EDS超大球面角，無窗口探頭。可實現(xiàn)快速，高靈敏度化學(xué)成分分析;
★ 前瞻性平臺總體設(shè)計，為性能擴增預(yù)留選項，例如可擴增為氣體環(huán)境電鏡。
